實驗室用真空泵常被稱為微型真空泵、微型氣泵,因為在科研實驗室中,常被用于氣體采樣、氣體循環(huán)、真空吸附、真空保壓、抽氣、鼓勁、增壓、抽真空間接抽水等。其特點是體積小、重量輕、方便攜帶。
實驗室用真空泵獲得真空的方式主要有兩種:
1.物理法
使用物理法進行抽真空的一般是吸附泵、吸氣劑泵以及吸氣劑離子泵。吸附泵通過大面積的吸附劑覆蓋吸附的方式獲取真空,是一種捕集真空裝置;吸氣劑泵則是利用吸氣劑(一般是塊狀或者沉積式新鮮薄膜形式存在)捕獲氣體,進行抽真空;吸氣劑離子泵將氣體電離,再通過電場、磁場的作用達到吸附在材料表面的目的,從而實現(xiàn)抽氣,又分為兩種,一種是蒸發(fā)離子泵,被電離的氣體持續(xù)或者以間斷的升華從而被吸附,另外一種是濺射離子泵,被電離的離子,被吸附在由陰極持續(xù)濺射出來的吸氣材料上,實現(xiàn)吸氣。
2.機械法
使用機械法抽真空的也有兩種類型的泵,一種是變容真空泵,一種動量傳輸泵。變容真空泵通過泵的容腔容積的變化完成吸氣和排氣的過程,達到抽氣的目的,分為復式和旋轉式兩種。
還有就是動量傳輸泵,通過高速旋轉的葉片或者高速的射流,氣體分子接收到這種動量,這種動量將氣體連續(xù)的輸送,包括分子真空泵、水蒸汽噴射泵以及擴散泵等。
無論是物理法還是機械法獲取真空,實驗室用真空泵都需要使用真空泵過濾器,才能符合環(huán)保部門的排放標準。